AI搭載外観検査装置
Gerberデーターと比較し、1.7μｍの解像度で最小10μｍレベルの欠陥検出が可能。
自社開発画像処理エンジン・ソフトにより、極小部位を撮像した膨大なデーターの高速処理を実現。
AI判定による疑似欠陥の削減。
作業者によるプレビュー時間の排除または大幅削減。
新たな種類の欠陥を追加学習で検出可能。
